無論是臺(tái)式X熒光光譜儀還是手持式光譜儀的分光模式和直讀光譜儀有著本質(zhì)的區(qū)別，他們的分光是怎么做的。
首先一種就是之前說到的分光系統(tǒng)是依靠分光晶體和檢測(cè)器的轉(zhuǎn)動(dòng)，使不同波長(zhǎng)的特征X射線接順序被檢測(cè)，這種光譜儀稱為順序型光譜儀。
另外還有一類光譜儀分光晶體是固定的，混合X射線經(jīng)過分光晶體后，在不同方向衍射，如果在這些方向上安裝檢測(cè)器，就可以檢測(cè)到這些X射線。這種同時(shí)檢測(cè)多種波長(zhǎng)X射線的光譜儀稱為同時(shí)型光譜儀，同時(shí)型光譜儀沒有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，因而性能穩(wěn)定，但檢測(cè)器通道不能太多，適合于固定元素的測(cè)定。
聚焦法分光器原理
此外，還有的臺(tái)式X熒光光譜儀的分光晶體不用平面晶體，而用彎曲晶體，所用的晶體點(diǎn)陣面被彎曲成曲率半徑為2R的圓弧形，同時(shí)晶體的入射表面研磨成曲率半徑為R的圓弧，第一狹縫，第二狹縫和分光晶體放置在半徑為R的圓周上，使晶體表面與圓周相切，兩狹縫到晶體的距離相等（見上圖），用幾何法可以證明，當(dāng)X射線從第一狹縫射向彎曲晶體各點(diǎn)時(shí)，它們與點(diǎn)陣平面的夾角都相同，且反射光束又重新會(huì)聚于第二狹縫處。因?yàn)閷?duì)反射光有會(huì)聚作用，因此這種分光器稱為聚焦法分光器，以R為半徑的圓稱為聚焦圓或羅蘭圓。當(dāng)分光晶體繞聚焦圓圓心轉(zhuǎn)動(dòng)到不同位置時(shí)，得到不同的掠射角θ，檢測(cè)器就檢測(cè)到不同波長(zhǎng)的X射線。當(dāng)然，第二狹縫和檢測(cè)器也必須作相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)，而且轉(zhuǎn)動(dòng)速度是晶體速度的兩倍。聚焦法分光的最大優(yōu)點(diǎn)是熒光X射線損失少，檢測(cè)靈敏度高。