經常有人把這個儀器和X射線熒光光譜儀誤認為是同一種儀器，它就是原子熒光光度計。但是其實它們是有區別的。下面和小編一起來了解下吧。
首先我們分別了解下它們的定義。
1、原子熒光光度計利用還原劑：硼氫化鉀或硼氫化鈉，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物（或原子蒸汽），之后利用載氣將其導入原子化器，在氬—氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。
2、X射線熒光光譜儀用Ｘ射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光Ｘ射線。我們要把激發后得到的熒光X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的Ｘ射線的強度，以進行定性和定量分析。由于Ｘ光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，Ｘ射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。
EDXRF熒光光譜儀光源
所以說，雖然X射線熒光光譜儀和原子熒光光度計都是把物質激發后檢測其熒光，但是這兩個儀器的區別很大，主要有兩點：
1、激發光源不同。
原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少見有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發光源。
2、用途不同。
原熒主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒主要用來作定性分析和結構分析。當然二者的儀器構造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。