X熒光光譜儀的主要部件光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及探測器等。眾所周知探測器是很重要的零件，它是用于接受和分辨信號。我們在選用探測器時，因為探測器性不同，所以需要綜合考慮多種因素。
目前X熒光光譜儀常用的X射線探測器有三種：流氣式正比計數器、NaI閃爍計數器、Si(Li)探測器。就三者而言，產生一個離子對的平均能量，他們之間大約相差一個量級，而分辨率與統(tǒng)一個光子產生的電子數的平方根成正比，所以他們的分辨率也粗略相差三倍。
下面一起來和小編比較下三種X射線探測器吧！
1、流氣式正比計數器適用波長范圍0.15～5.0/nm，平均能量/離子對26.4eV，電子數305/光子，分辨率1.2/keV。
2、NaI閃爍計數器適用波長范圍0.02~0.2/nm，平均能量/離子對350eV，電子數23/光子，分辨率3.0/keV。
3、Si(Li)探測器適用波長范圍0.05～0.8/nm，平均能量/離子對3.6cV，電子數2116/光子，分辨率0.16/keV。
盡管X熒光光譜儀由于使用分光晶體而達到約12eV的分辨率，但新的能量探測器已經可達到4eV，在分辨率方面已取得優(yōu)勢。
事實上如果新型能量探測器在計數率和制造工藝的穩(wěn)定性方面能取得突破，則X熒光光譜儀有可能在未來逐步取代復雜的波長色散X熒光光譜設備，成為X熒光光譜分析領域的主流。
X熒光光譜儀的構造