能量色散X熒光光譜儀就是用檢測器測量被激元素發(fā)射的特征X射線能量與相應(yīng)強(qiáng)度，進(jìn)行元素的定性、定量分析的儀器。三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)主要針對能量色散X熒光光譜儀，該標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容如下：
1、本系列標(biāo)準(zhǔn)是在總結(jié)我國研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和使用能量色散X射線熒光光譜儀實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，結(jié)合我國的實(shí)際需求而編制的。本標(biāo)準(zhǔn)主要針對的是能量色散X射線熒光光譜儀，且本部分適用于以X射線管為激發(fā)源的能量色散X射線熒光光譜儀, 采用其它激發(fā)源的儀器可參照使用。
2、能量色散X射線熒光光譜儀主要用途包括兩個方面，元素成分定性及定量分析、涂覆層厚度分析。本系列標(biāo)準(zhǔn)分為3個部分能量色散X射線熒光光譜儀：第1部分:通用技術(shù)、第2部分:元素分析儀、第3部分鍍層厚度分析儀。
3、儀器因?yàn)槭褂铆h(huán)境的不同對各項(xiàng)性能要求也不同，為了更好的測定儀器性能，本系列標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)儀器的使用形式不同分為：移動式、實(shí)驗(yàn)室、在線式。針對不同形式儀器制定試驗(yàn)方法。
4、針對能量色散X射線熒光光譜儀，本標(biāo)準(zhǔn)還定義了試驗(yàn)條件、試驗(yàn)方法及驗(yàn)收規(guī)則，方便儀器購買方對儀器進(jìn)行驗(yàn)收工作。
5、為了滿足測試的需求，統(tǒng)一測試內(nèi)容，本標(biāo)準(zhǔn)對所用到的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)行了定義，定義了本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的性能測試中需使用高純物質(zhì)(樣品)，同時在元素分析儀和鍍層分析儀中，指定了測試樣品編號及要求。
? ?6、關(guān)于準(zhǔn)確性：在能量色散X射線熒光光譜分析中，測量結(jié)果的準(zhǔn)確性主要與試樣的均一性、試樣量、待測元素含量、標(biāo)準(zhǔn)曲線制作等因素密切相關(guān)，屬于光譜儀系統(tǒng)的影響，主要體現(xiàn)在“重復(fù)性”和“穩(wěn)定性”之中。因此，本系列標(biāo)準(zhǔn)第一部分：通用技術(shù)未規(guī)定“準(zhǔn)確性”的技術(shù)指標(biāo)。
7、針對系列標(biāo)準(zhǔn)中的“元素分析儀”和“鍍層分析儀”二部分，定義了能量分辨率、重復(fù)性、穩(wěn)定性、能量線性、最大計(jì)數(shù)率、計(jì)數(shù)率線性及峰背比的計(jì)算。并通過大量試驗(yàn)制定了參考標(biāo)準(zhǔn)(測試數(shù)據(jù)見附件)
8、為方便儀器的使用和管理，本標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了儀器的標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存方式。
9、本系列標(biāo)準(zhǔn)的試驗(yàn)方法在撰寫過程中參考了四川材料與工藝研究所楊明太老師與江蘇天瑞儀器姚棟樑博士當(dāng)時正在撰寫的國家方法標(biāo)準(zhǔn)《能量色散X射線熒光光譜儀主要性能測試方法》，現(xiàn)此標(biāo)準(zhǔn)也已公布。
能量色散X熒光光譜儀行標(biāo)制定的意義
標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行能很好的幫助行業(yè)內(nèi)部解決以下問題：
1)可規(guī)范本行業(yè)對于產(chǎn)品的技術(shù)要求及其測試方法，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步和發(fā)展;
2)為產(chǎn)品的合同訂立和產(chǎn)品交易提供技術(shù)支持，確保供貨方和使用方的權(quán)利和利益;
3)在相關(guān)學(xué)術(shù)交流中，其實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和測量結(jié)果的表述更加準(zhǔn)確、可靠，更具參考性;
4)在儀器的生產(chǎn)及制造過程中，其提供的參考數(shù)據(jù)可做為驗(yàn)收依據(jù)。
該標(biāo)準(zhǔn)已基本可以滿足現(xiàn)有儀器衡量要求。制定本標(biāo)準(zhǔn)也是希望可以完善產(chǎn)業(yè)鏈標(biāo)準(zhǔn)化體系，推動市場準(zhǔn)入制度的執(zhí)行，減少國際、國內(nèi)的貿(mào)易糾紛，凈化市場競爭環(huán)境，促進(jìn)能量色散X熒光光譜儀行業(yè)的發(fā)展。希望國內(nèi)同行業(yè)者能多多關(guān)注能量色散X熒光光譜儀各項(xiàng)性能，爭取盡快將我國的儀器制造業(yè)推向國際先進(jìn)水平。同時在這里感謝為標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行做出巨大貢獻(xiàn)的各位專家。