臺式X熒光光譜儀所用原理和手持式X熒光光譜儀一樣，使用X射線原理來檢測物質的元素含量。在使用臺式X熒光光譜儀時，我們同樣需要注意使用方式，另外也要注意上機前的操作步驟。
臺式x熒光光譜儀對一些元素具有分析靈敏度高、干擾少、線性范圍寬、可多元素同時分析等特點，這些優點使得該方法在冶金、地質、石油、農業、生物醫學、地球化學、材料科學、環境科學等各個領域內獲得了相當廣泛的應用。
1、在開啟儀器前，一定要注意先開啟載氣。
2、一定注意各泵管無泄露，定期向泵管和壓塊間滴加硅油。
3、臺式x熒光光譜儀在測試結束后，一定在空白溶液杯和還原劑容器內加入蒸餾水，運行儀器清洗管路。關閉載氣，并打開壓塊，放松泵管。
4、從自動進樣器上取下樣品盤，清洗樣品管及樣品盤，防止樣品盤被腐蝕。
5、更換元素燈時，一定要在主機電源關閉的情況下，不得帶電插拔燈。
6、當氣溫低及濕度大時，汞燈不易起輝時，可在開機狀態下，用綢布反復摩擦燈外殼表面，臺式x熒光光譜儀使其起輝或用隨機配備的點火器，對燈的前半部放電，使其起輝。
7、調節光路時要使燈的光斑照射在原子化器的石英爐芯的中心的正上方；要使燈的光斑與光電倍增管的透鏡的中心點在一個水平面上。