近幾年來X熒光光譜儀是日漸興起的一種較新型的儀器，它可以無損對多元素進行快速同時測定的儀器。X熒光光譜儀是可以分為波長和能量兩種的，它們是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量的。
波長色散型X射線熒光光譜儀，是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。
能譜色散型X熒光光譜儀，用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。
x射線熒光光譜儀xrf基礎知識
后來隨著X射線偏振器的誕生，產生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀，再加上SDD探測器的使用，提高了儀器的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，讓用戶購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，所以總的來說能量色散X熒光光譜在分析領域還是更受歡迎的。