X熒光光譜儀是可以檢測固體、粉末，甚至液體的一款儀器。雖說可以直接針對被測物體進行無損檢測。
就檢測范圍而言，能量色散X熒光光譜儀分析范圍從2ppm到99.999%，波長色散型能達到ppm級，有的型號甚至能做到微區檢測。另外就檢測元素而言，波長色散型的范圍為Na到U，能量色散型可分析Be到U。
就檢測結果而言，X熒光光譜儀檢測塑料的結果比檢測金屬效果好。金屬的定量分析測量不準確，其主要原因在于多元素的干擾，造成了大的偏差。另外基體同樣是影響分析穩定性的一個原因，至于塑料的基體是CHO，所以對相關分析元素干擾影響較小。對于檢測金屬，應該怎么進行準確檢測分析。
X熒光光譜儀的礦石檢測
以鋁合金樣塊為例，金屬樣品的制樣方法：（1）高溫熔樣。（2）切割成大小合適的塊狀，表面拋光。（3）和光電直讀光譜儀制樣方法一樣，利用高速銑床切割拋光，再用乙醚擦拭表面。直接用車床車削+酒精冷卻。（4）高速銑床。用銑床銑時，注意對切屑表面噴無水乙醇，防止氧化，不能用砂帶磨。（5）將合金氧化然后熔融法制樣。（6）現在有種方法是把鋁屑壓成餅狀進樣。
通過特制的制樣方式，對于我們后期的合金檢測有著積極的意義。如果想要得到準確的測量結果，不妨采用多樣的檢測方法來測量。