氬氣是一種無色、無味的單原子氣體，密度是空氣的1.4倍，是氦氣的10倍。氬氣是一種惰性氣體，在常溫下與其他物質均不起化學反應，在高溫下也不溶于液態(tài)金屬中。氬氣在直讀光譜分析儀對物質進行分析檢測的過程中起著重要的作用。氬氣的純度不夠會加大物質檢測結果的誤差，導致測量的結果不可用。
一般光譜激發(fā)時由于瞬間電壓高、電流大、激發(fā)溫度也會很高，氬氣可以很好的對鎢電極起保護作用，一般的氬氣純度不夠，不能很好的保護鎢電極，導致鎢電極損傷，而且一些高溶點的物質如硅等就會激發(fā)不充分，在金屬表面就會產生有很多很多白點，造成檢測數據不準。
高純氬作為火花室保護氣的主體，其純度高才會形成需要的“聚能放電”否則就是所謂的“擴散放電”引起不良的激發(fā)。樣品的組織結構越復雜，對氬氣的純度要求就越嚴格。
直讀光譜儀使用的氬氣純度要求≥99.999%，如果純度達不到，則會導致校正系數超出要求范圍，標準化系數偏高。或者激發(fā)光源不激發(fā)及跳閘。
氬氣不純，對光路尤其是透鏡的損壞較大，導致透鏡污染，影響直讀光譜儀分析譜線；再者激發(fā)時聲音表現無力，激發(fā)點不能充分燃燒，影響分析數據，使數據偏離實際值，導致分析不準確。