X射線熒光光譜儀是一種比較新型的無損、快速、便捷的并且可以對多元素進(jìn)行快速同時(shí)測定的儀器。在被測物在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線。
下面來看看X射線熒光光譜儀的組成結(jié)構(gòu)：
1、探測器
依分辨率高低檔次由低至高常用的探測器有NaI晶體閃爍計(jì)數(shù)器，充氣(He，Ne，Ar，Kr，Xe等)正比計(jì)數(shù)管器、HgI2晶體的探測器、半導(dǎo)體致冷SiPIN探測器、高純硅晶體的探測器、高純鍺晶體的探測器、電致冷或著液氮致冷Si(Li)鋰漂移硅晶體的探測器、Ge(Li)鋰漂移鍺探測器等。
目前常用的是電致冷或液氮致冷Si(Li)鋰漂移硅晶體的探測器、SiPIN探測器、高純的硅晶體探測器。探測器的性能主要體現(xiàn)在對熒光探測的檢出限、分辨率、探測能量范圍的大小等方面。所以你要儀器的檢出限好你就要看它了。
2、X光管
X光管是儀器的易損耗材。大多數(shù)XRF廠商奉行拿來主義，做的就是組裝貼個(gè)品牌的工作。其性能壽命和成本一般是5000小時(shí)合幾百美金。而高檔的X光管壽命一般在10年以上，成本當(dāng)然也高達(dá)10多萬人民幣；SiLi電制冷的，壽命同樣會(huì)在10年以上，成本至少15萬人民幣。
3、處理器
分為數(shù)字脈沖處理器和模擬脈沖處理器兩種，前者在數(shù)據(jù)處理處理上速度好。全數(shù)字脈沖處理快線路處理，容許死時(shí)間高達(dá)60%。可采集大容量計(jì)數(shù)，可減少采集時(shí)間先進(jìn)的數(shù)字與傳統(tǒng)的模擬是兩代處理器技術(shù)，技術(shù)水平一般差十年。模擬脈沖處理器一般信號處理模式，死時(shí)間僅容許30%。不能進(jìn)行高通量信號處理，為獲得大的計(jì)數(shù)必須延長采集時(shí)間。
4、濾光片
濾光片多，可以有選擇的降低信噪比，對痕量分析十分有用。
X熒光光譜儀的構(gòu)造